LDM XY 系列直驱机械平台
• 开放式结构，XY一体式设计直驱平台；
• 底轴双电机驱动，动态性能出色更好的几何性能和更高的承载能力；
• 低侧面高度，阿贝误差小；
• 行程范围可定制；
• 纳米级重复定位精度和定位精度；
• 多种反馈选项（零膨胀光栅尺可选）。
产品简介：
LDM XY系列开放式XY一体式精密定位平台，通过直线电机与高性能导轨的精密配合实现双轴一体结构，结构紧凑，低侧面高度，下轴配置双电机，上轴配置单电机，可实现大推力轻量化高动态性能运动，配置线性放大器和高分辨率反馈系统，可达纳米级在位稳定性和步进分辨率，兼具高速高加速度，可精准完成晶圆表面缺陷检测飞拍，以及纳米级表面粗糙度检测等高精密任务。凭借纳米级动态轨迹精度与超高频响应的核心优势，配合高性能CDZWS升降台和CDTWS转台可组成四轴系统，成为超快激光精密加工装备、半导体在线检测设备及纳米表面计量仪器领域的高端运动控制解决方案。
规格参数：
型号 | LDM XY-250 | LDM XY-350 | LDM XY-500 | 单位 |
有效行程 | 250x250 | 350x350 | 500x500 | mm |
定位精度 | ±0.5 | ±0.6 | ±0.75 | µm |
重复定位精度 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.3 | µm |
Pitch | 9 | 11 | 18 | arc sec |
Yaw | 9 | 11 | 18 | arc sec |
直线度 | ±2.0 | ±2.5 | ±3.0 | µm |
平面度 | ±2.0 | ±2.5 | ±3.5 | µm |
正交性 | 10 | 12 | 15 | arc sec |
最大速度(1) | 2000 | 2000 | 2000 | mm/s |
最大加速度(1) | 2 | 2 | 2 | g |
最大负载 | 45 | 45 | 45 | kg |
平台重量 | 35 | 45 | 65 | kg |
最小步进量(2) | 20 | Nm | ||
在位稳定性(2) | ±10 | nm | ||
编码器信号 | 1vpp/TTL | |||
平台材质 | 铝合金 | |||
平均无故障时间 | 27,000 | Hours | ||
备注：
(1)空载，需配置相应功率的放大器；
(2)适配-H反馈，以及线性放大器；
(3)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(4)其他行程可定制。
产品配置选项
产品型号 | 有效行程（mm） | 反馈 |
LDM XY
| 250x250 | -A -T5/10/100 -H |
350x350 | ||
500x500 |
反馈选项
-A | 1Vpp正弦模拟量反馈 |
-T5 | 分辨率5nm数字量反馈 |
-T10 | 分辨率10nm数字量反馈 |
-T100 | 分辨率100nm数字量反馈 |
-H | 高精度海德汉反馈 |
产品尺寸
型号 | A (mm) | B (mm) |
LDM XY-250 | 450 | 450 |
LDM XY-350 | 550 | 550 |
LDM XY-500 | 700 | 700 |
外观及尺寸参数：
