CDZS95 系列零重力升降台
• 纳米级定位精度（±150nm）；
• 零摩擦双气缸配重，动态响应>100Hz；
• 交叉滚柱导轨支撑；
• 1nm分辨率，±100nm重复精度；
• 在位稳定性5nm。
产品简介：
CDZS95系列是零重力侧面安装精密Z轴运动平台，采用无铁芯直线电机和自润滑交叉滚柱导轨，具备非常优秀的动态性能和定位精度，具有承重大、精度高、刚性好等特点，配置的重力平衡气缸可有效抵消电机向上持续输出力，提升精度性能。
配合高性能驱动器，可实现纳米级步进和在位稳定性。该平台凭借无机械摩擦特性和优异的动态性能，为激光飞秒加工、增材制造、微电子晶圆封装、生物和光学精密检测等高端领域提供了理想的纳米级运动解决方案。
规格参数：
型号 | CDZS95-025 | CDZS95-050 | 单位 |
有效行程 | 25 | 50 | mm |
绝对定位精度 | ±150 | ±150 | nm |
双向重复定位精度 | ±100 | ±100 | nm |
单向重复定位精度 | ±45 | ±45 | nm |
俯仰 | 10 | 10 | arc sec |
偏摆 | 5 | 5 | arc sec |
直线度 | ±1.5 | ±2.0 | μm |
平面度 | ±2.5 | ±3.0 | μm |
移动部分重量 | 0.5 | 0.6 | kg |
平台重量 | 2.0 | 2.5 | kg |
最大负载 | 5 | kg | |
分辨率(1) | 1 | nm | |
最小步进量(1) | 5 | nm | |
在位稳定性(1) | 3 | nm | |
最大速度(2) | 250 | mm/s | |
最大加速度(2) | 1 | g | |
平台材质 | 铝合金 | ||
平均故障时间 | 27,000 | Hours | |
备注：
(1)适配-H反馈，线性放大器；
(2)空载，需配置相应功率的放大器；
(3)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(4)气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气，气压根据平台实际负载可调；
(5)其他行程可定制。
产品配置选项
产品型号 | 有效行程（mm） | 反馈 |
CDZS95
| -25 | -A -T5/10/20 -H |
-50 |
反馈选项
-A | 1Vpp正弦模拟量反馈 |
-T5 | 分辨率5nm数字量反馈 |
-T10 | 分辨率10nm数字量反馈 |
-T20 | 分辨率20nm数字量反馈 |
-H | 高精度海德汉反馈 |
外观及尺寸：
CDZS95-025
CDZS95-050
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示；
（3）完整图纸可在官网下载
