CDMS XY 系列双轴纳米机械平台
· 亚微米级定双自由度运动平台
· 低侧面高度,阿贝误差小
· 高刚度高带宽,动态性能出色
· 纳米级步进和在位稳定性
· 轨迹误差<1um
· 有效行程100~360mm
产品简介：
CDMS XY系列纳米级定位精度的XY一体式精密定位平台，通过直线电机与高刚性交叉滚柱导轨的精密配合实现双轴一体结构，结构紧凑，低侧面高度，上下轴均配置双电机，实现大推力高动态性能，配置线性放大器和高分辨率反馈系统，可达纳米级在位稳定性和步进分辨率，兼具高速高加速度，可精准完成飞秒激光微纳加工中的双轴圆弧插补、晶圆表面缺陷检测飞拍，以及纳米级表面粗糙度检测等高精密任务。凭借纳米级动态轨迹精度与超高频响应的核心优势，成为超快激光精密加工装备、半导体在线检测设备及纳米表面计量仪器领域的高端运动控制解决方案。
规格参数：
型 号 | CDMS XY-100 | CDMS XY-200 | CDMS XY-300 | CDMS XY-360 | 单位 |
有效行程 | 100x100 | 200x200 | 300x300 | 360x360 | mm |
绝对定位精度 | ±0.2 | ±0.3 | ±0.5 | ±0.75 | μm |
双向重复定位精度 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 | μm |
俯仰 | 12 | 15 | 18 | 18 | arc sec |
偏摆 | 12 | 8 | 10 | 10 | arc sec |
直线度 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2 | μm |
平面度 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ±2 | μm |
正交性 | 15 | 15 | 15 | 15 | arc sec |
最大速度(1) | 500 | 800 | 800 | 800 | mm/s |
最大加速度(1) | 1 | 2 | 2 | 2 | g |
最大负载 | 12 | 20 | 30 | 45 | kg |
平台重量 | 6.1 | 27.9 | 70 | 100 | kg |
电子分辨率(2) | 1 | nm | |||
最小步进量(2) | 5 | nm | |||
在位稳定性(2) | 5 | nm | |||
平台材质 | 铝合金 | ||||
平均无故障时间 | 27000 | Hours | |||
备注：
(1)空载，需配置相应功率的放大器；
(2) 适配-H反馈，以及线性放大器；
(3) 默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(4)其他行程可定制。
产品配置选项
产品型号 | 有效行程（mm） | 反馈 |
CDMS XY
| -100 | -A -T5/10/20 -H |
-200 | ||
-300 | ||
-360 |
反馈选项
-A | 1Vpp正弦模拟量反馈 |
-T5 | 分辨率5nm数字量反馈 |
-T10 | 分辨率10nm数字量反馈 |
-T20 | 分辨率20nm数字量反馈 |
-H | 高精度海德汉反馈 |
外观及尺寸：
CDMS XY-100
CDMS XY-200
CDMS XY-250
CDMS XY-300
CDMS XY-360
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示；
（3）完整图纸可在官网下载
