CDM130XY 系列双轴纳米机械平台
• 超高的纳米级定位精度；
• 系统响应频率高；
• 高刚性交叉滚柱导轨与阿贝误差优化设计；
• 灵活的配置选项（XY可定制不等距行程）结构紧凑；
• 重复定位精度和定位精度优异；
• 纳米级在位稳定性。
产品简介术：
CDM130XY系列纳米级定位精度的XY一体式精密定位平台，通过直线电机与高刚性交叉滚柱导轨的精密配合实现双轴一体结构，结构紧凑，低侧面高度，配置线性放大器和高分辨率反馈系统，可达纳米级在位稳定性和步进分辨率，兼具高速高加速度，可精准完成飞秒激光微纳加工中的双轴圆弧插补、晶圆表面缺陷检测飞拍，以及纳米级表面粗糙度检测等高精密任务。支持XY轴独立运动，也可与Z轴升降台、旋转轴模块协同构建多轴系统，凭借纳米级动态轨迹精度与超高频响应的核心优势，成为超快激光精密加工装备、半导体在线检测设备及纳米表面计量仪器领域的高端运动控制解决方案。
规格参数：
型号 | CDM130XY-060-060 | CDM130XY-110-110 | CDM130XY-160-160 | 单位 |
有效行程 | 60×60 | 110×110 | 160×160 | mm |
绝对定位精度 | ±250 | ±300 | ±300 | nm |
双向重复定位精度 | ±100 | ±100 | ±100 | nm |
单向重复定位精度 | ±45 | ±45 | ±45 | nm |
俯仰 | 10 | 12 | 18 | arc sec |
偏摆 | 10 | 12 | 18 | arc sec |
正交性(1) | 10 | 10 | 10 | arc sec |
直线度 | ±1.5 | ±2.0 | ±2.5 | μm |
平面度 | ±1.5 | ±2.0 | ±2.5 | μm |
移动部分重量 | 1.7 | 2.3 | 2.6 | kg |
移动质量 | 4.4 | 5.9 | 7.1 | kg |
平台重量 | 6.1 | 7.9 | 9.4 | kg |
最大负载 | 12.0 | kg | ||
分辨率(3) | 1 | nm | ||
最小步进量(3) | 5 | nm | ||
在位稳定性(3) | 3 | nm | ||
最大速度(4) | 500 | mm/s | ||
最大加速度(4) | 1 | g | ||
平台材质 | 铝合金 | NA | ||
平均无故障时间 | 27,000 | Hours | ||
备注：
(1)经过定制2D校准后，正交性可达到 5 arc sec；
(2)需配置16位细分驱动器
(3)适配-H 海德汉零膨胀光栅尺反馈，线性放大器；
(4)空载，需配置相应功率的放大器
(5)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(6)其他行程可定制。
产品配置选项
产品型号 | 有效行程（mm） | 反馈 |
CDM130XY | -060-060 | -A -T5/10/20 -H |
-110-110 | ||
-160-160 |
反馈选项
-A | 1Vpp正弦模拟量反馈 |
-T5 | 分辨率5nm数字量反馈 |
-T10 | 分辨率10nm数字量反馈 |
-T20 | 分辨率20nm数字量反馈 |
-H | 高精度零膨胀海德汉反馈 |
产品尺寸
产品型号 | A (mm) | B (mm) | C (mm) |
CDM130XY-060-060 | 180 | 180 | 150 |
CDM130XY-110-110 | 230 | 230 | 100,200 |
CDM130XY-160-160 | 280 | 280 | 150,250 |
备注：
（1）单位：mm；
（2）线缆接头未显示；
（3）完整图纸可在官网下载
产品尺寸图
CDM130XY-060-060
CDM130XY-110-110
CDM130XY-160-160
