产品简介

AGY-500-500系列平面龙门气浮平台是一款专为高速、高精度、高加速应用场景设计的高端运动平台，平面化“H”型结构显著降低了工作点高度，减小了阿贝误差，环绕式气浮和真空预载方式提高了气浮轴承刚度，工程化横梁结构降低了移动部分质量，提高了运动性能，缩短整定时间，实现高产能和吞吐量。AGY-500-500平台的独特设计在于其横梁轴与龙门轴之间的柔性连接件，这一设计实现了侧向解耦，有效减少了运动过程中的侧向干扰，同时保持了系统的高刚性。这种柔性连接技术使得平台在高速、高加速运动时仍能保持极高的定位精度和重复性，该平面气浮平台广泛应用于晶圆曝光、批量转移打印、大尺寸飞秒激光加工、刻光栅及无图形晶圆缺陷检测等半导体和平板显示行业。