AGS 系列双轴气浮直线平台

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技术特点：
• 静压气体润滑技术实现非接触、零摩擦的直线运动
• 独特节流方式抑制自激振动、微振动
• 导轨全闭式和磁预载结构设计相结合，高刚性、承载大
• 低高度，整体阿贝误差小
• 可选配高精度光栅尺反馈
• 优异的定位精度和重复定位精度

产品详情规格参数配置选项产品尺寸资料下载

产品简介：

AGS系列双轴气浮直线运动平台主要由自研气浮导轨、直线电机和高精度光栅尺组成，扁平化设计，结构紧凑，非接触导向形式无需润滑维护，具有系统刚性强、定位精度高、重复性好等优点。适用于半导体扫描检测、激光加工设备、精密定位系统，非接触、无摩擦的运动特点和亚微米级运动控制能力，使其成为精密制造、工业自动化领域的最佳方案选择。

规格参数：

型号		AGS-50	AGS-100	AGS-150	AGS-200	AGS-300⁽⁶⁾	单位
有效行程	X轴	50	100	150	200	300	mm
	Y轴
绝对定位精度	X轴	±0.2	±0.2	±0.2	±0.25	±0.3	µm
	Y轴
双向重复定位精度	X轴	±0.05	±0.1	±0.1	±0.15	±0.2	µm
	Y轴
俯仰	X轴	±2	±2.5	±3.5	±4	±8	arc sec
	Y轴
偏摆	X轴	±1	±1	±1.5	±2	±4	arc sec
	Y轴
直线度	X轴	±0.25	±0.25	±0.25	±0.5	±1	µm
	Y轴
平面度	X轴	±0.25	±0.25	±0.5	±0.75	±1.5	µm
	Y轴
正交性		±2.5	±2.5	±2.5	±2.5	±1	arc sec
平台重量		14.5	18.5	22.5	27.5	48	kg
移动部分重量	X轴	3	3	3	3	4	kg
	Y轴	5.5	6.5	7.5	8.5	8.5	kg
最大负载（水平）		14.7	14.7	14.7	14.7	14.7	kg
分辨率⁽¹⁾		1.2	1.2	1.2	1.2	1	nm
最大速度⁽²⁾	X轴	2000	2000	2000	2000	1000	mm/s
	Y轴
最大加速度⁽²⁾	X轴	2.75	2.75	2.75	2.75	1	g
	Y轴	1.5	1.3	1.1	1	1
工作气压⁽⁵⁾		5.5					Bar
平台材质		铝合金
平均无故障时间		27000					Hours

备注：

（1）适配-H反馈，配置线性放大器；

（2）空载，需配置相应功率的放大器；

（3）默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；

（4）气缸供气需配置空滤三联件，必须清洁、干燥，过滤至0.25μm以下颗粒，建议使用纯度为99.9%的氮气。

气压根据平台实际负载重量可调。

（5）为了防止空气轴承气压不足，建议安装气压开关，信号输入到运动控制器连接急停（E-STOP）端口。

（6）AGS-300选用绝对式直线光栅尺。

产品配置选项

产品型号	有效行程（mm）	反馈
AGS	50x50	-A -T5/10/20 -H
	100x100
	150x150
	200x200
	300x300

反馈选项

-A	1Vpp正弦模拟量反馈
-T5	分辨率5nm数字量反馈
-T10	分辨率10nm数字量反馈
-T20	分辨率20nm数字量反馈
-H	高精度零膨胀海德汉反馈