光学成像
目前团队成员共7人，其中硕士研究生学历5人，本科学历2人。具备半导体设备成像光学系统设计&仿真能力、照明光学系统设计&仿真能力、精密光机设计&装调能力。已建成成像光学实验室18㎡，有光谱仪、功率计、照度计等精密光源检测设备。有干涉仪、偏心仪、分光光度计等高精度镜片&镜组检测设备。有分辨率板、景深板、畸变板、漫反射板、显微标尺、激光测距仪、自准直仪、温度采集分析仪等成像光学系统检测器具，并配套开发了相关测量软件，可进行成像光学系统分辨率、MTF、景深、畸变、照明均匀性、光学定位重复性、温升等的检测。具备成像光学定制设计、组装、调试&测试的系统开发能力。已成功研制出多个用于半导体装备的成像光学系统，如：显微成像系统、单视野上下同轴对准系统、NIR键合晶圆检测系统、RGB&NIR无限远共轭XY转折对位系统等。
显微镜成像系统
单视野上下同轴对准系统
NIR键合晶圆检测系统
RGB&NIR无限远共轭XY转折对位系统
