仪器仪表模板

• 超精密实验室温控、振动等验收指标

  
  

  隔振等级VC-D

  校准结果：实验室温湿度设定值：温度21℃；相对湿度：45%RH，校准结果如表1：

指标名称			单位	规格	实测值
精确度	每1小时温度和 相对湿度波动度	温度	℃	≤0.03	≤0.02
		湿度	%RH	±2	±0.6
	24小时温度和 相对湿度波动度	温度	℃	≤0.07	≤0.06
		湿度	%RH	±3	±0.8

                                                                                        表1 校准结果

说明：温度MPE:±0.02℃；相对湿度不确定度：U=0.8%RH（k=2）。




• 复杂装配测试实验室能力

• 标准化测试：

• 制定包含测量需求、应用场景、指标定义、测量方式、评估算法、计量环境等标准的计量工艺流程

• 测量工具使用标准化

• 测试工艺、流程标准化

• 服务产品线复杂设备在早期设计、安装及最终指标验收阶段的测量工艺及验收流程制定

• 设备几何误差建模及误差敏感性分析

• 隔振，热稳定分析，误差分析，标定，补偿等

• 系统运动平台性能优化功能模块开发，自整定及幅频分析等

• 基于声、光、电等能场的传感器开发能力

• 开发匹配多款主流控制器、自研电机及客户定制平台的计量参数数据中心

• 配合内部自研计量工具如LVDT、电容传感器等设备在控制、采集、计量软件开发方面的应用

• 基于数模信号的处理算法开发用于设备工艺诊断、优化

• 计量设备

• RLE20-DC-XG

• 光学直角镜_1 (360x360x35mm，正交性：1.68arcsec，平面度30nm

• 光学直角镜_2 (210x210x20mm)，正交性：1.36arcsec，平面度40nm

• 光学条镜(480x50x30mm)，平面度25nm

• CONEX-LDS光学自准直仪

• 计量用大理石平台 (平面度5 μm)

• ND40被动隔振

• 检测能力

• On-axisaccuracy 轴上精度

• Absoluteaccuracy 绝对定位精度

• Uni-/Bi-directionalRepeatability 单/双向重复定位精度

• Minimumincremental motion(MIM) 最小位移增量

• Velocitystability 速度稳定性

• Inposition stability 在位稳定性

• Stepand Settle 按指定步长整定至设定窗口时间

• Roll& Pitch & Yaw 滚转& 俯仰& 偏航

• Straightness& Flatness 直线度& 平面度

• 1D/2D/3DError Mapping 1D/2D/3D补偿

• Multi-axisOrthogonality 多轴正交

  

                                                系统整体布局(2D 系统误差补偿测试)

• 测量系统

• Linearresolution 线性稳定性:8 nm

• Angularresolution 角度稳定性:0.36 μrad

• 部分关键设备指标

  
  

• 系统静态稳定性 ─── 线性

  
  

  测试目标：分别将雷尼绍RLE20激光尺和Conex-LDS自准直仪安装于工装, 反射镜安装于大理石台面

  采样设置: 在应力释放之后测试，采样频率100Hz，采样20分钟。

  测试日期: 2024/4/10

  

  测试结果：峰峰值（PtP）≈8nm

                                        测试结果：峰峰值（PtP）≈8nm

  
  

• 系统静态稳定性 ─── 角度偏差

• 测试目标: 俯仰 & 偏摆测试工艺中的系统稳定性测试

• 采样设置: 应力释放之后，采样间隔0.1s, 采样300s

• 测试日期: 2024/4/3

                              测试结果：峰峰值（PtP）≈ 0.36μrad

• 系统测量软件 ─── 参数设置界面

  
  

      软件功能: 满足运动平台静态稳定性、速度稳定性、轴上精度、绝对定位精度、单/双向重复定位精度、直线度/平面度、Yaw/Pitch等指标的标准测试，满足IS0230-2-2006及GB/T17421.2-2016。

                                                                软件主界面

                                                          测试参数配置界面

• 系统测量软件-动态测试及报告输出

  
  

  
  

                                                               动态测试界面

                                                             测试报告输出